當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>白光干涉儀>> SuperViewW13d白光干涉儀
白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理,,對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,,通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量,。
3d白光干涉儀具有測(cè)量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),,測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),,確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。可在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,,測(cè)量各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品功能
1)3d白光干涉儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。
性能特色
1,、高精度、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),,保證測(cè)量精度高;
2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),,消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測(cè)量重復(fù)性,;
2,、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊,能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,,在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測(cè)、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。
3,、精密操縱手柄
集成X,、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作,。
4,、雙重防撞保護(hù)措施
在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),,儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。